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文章出處:思成凈化工程發(fā)布時(shí)間:2018-10-22
近年來(lái)社會(huì )發(fā)展迅速,人們對產(chǎn)品的高精密度化、細小型化的需求也日益迫切。同時(shí)對產(chǎn)品要求增加也就對產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境有了更高的要求。而百級無(wú)塵車(chē)間在精密制造、液晶制造、電線(xiàn)板制、半導體等行業(yè)也是常見(jiàn)的。電子制造行業(yè)的潔凈車(chē)間設計是一項綜合性技術(shù),需要充分了解電子制造潔凈車(chē)間的特點(diǎn),才能做到設計合理、減少產(chǎn)品的次品率,從而提高生產(chǎn)效率。
電子制造百級車(chē)間的潔凈度要求高,溫度、濕度、風(fēng)量、壓差、設備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設計或規范受控,另外該類(lèi)潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求更高。因為過(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jì)葮O易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠(chǎng)房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時(shí)還對其環(huán)境的溫、濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
百級無(wú)塵車(chē)間要求換氣次數:
100000級≥15次;
10000級≥20次;
1000≥30次;
100≥500次。
溫度要求:
溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃。溫度45-65%;
壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa 平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;
濕度要求:GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪音要求:噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)要求、:新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;
照度要求:照度300LX。
百級無(wú)塵車(chē)間的凈化要求主要靠?jì)艋瘹饬鞑粩嘞♂屖覂鹊目諝?,將室內的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級的凈化車(chē)間,主要是依靠單位時(shí)間內所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現。
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